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詳細資料ISBN：9789572191859 叢書系列：大專電子 規格：平裝 / 400頁 / 16K / 19 X 26 X 2 CM / 普通級 / 雙色印刷 / 初版 出版地：台灣 內容簡介 1958年美商德州儀器公司的科學家JACK KILBY製作出全球第一顆「積體電路(IC：INTEGRATED CIRCUIT)」，造就了半個世紀以來電子產業的篷勃發展，到了1990年代，開始有科學家把機械元件與光學元件，整合積體電路製作成單一晶片，稱為「微機電系統(MEMS：MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS)」，最近由於人機介面(HMI：HUMAN MACHINE INTERFACE)的發展，微機電系統(MEMS)扮演愈來愈重要的角色，包括微加速度計、微陀螺儀、微地磁計、微機電系統麥克風、微機電系統射頻等，成為新興的科技產業，後來進入2000年代，微製造產業突飛猛進，尺寸愈來愈小，才發展出「奈米科技(NANOTECHNOLOGY)」，本書將由淺入深介紹積體電路、微機電系統、奈米科技等相關的技術原理與發展趨勢。 |
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資料來源：博客來
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